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產(chǎn)品中心

10KW半導(dǎo)體制程Dummy Load
產(chǎn)品型號：8931-230
簡介：

10KW半導(dǎo)體制程Dummy Load為了使生產(chǎn)過程重復(fù)性和一致性保持理想狀態(tài)，現(xiàn)代等離子體應(yīng)用需要優(yōu)良的RF功率調(diào)節(jié)和控制。確保輸入到真空室的射頻功率的準(zhǔn)確性和重復(fù)性的關(guān)鍵部分就是射頻發(fā)射機的校準(zhǔn)、操作規(guī)程和日常監(jiān)測。

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10KW半導(dǎo)體制程Dummy Load

Termination Load 精密負(fù)載為了使生產(chǎn)過程重復(fù)性和一致性保持理想狀態(tài)，現(xiàn)代等離子體應(yīng)用需要**的RF功率調(diào)節(jié)和控制。確保輸入到真空室的射頻功率的準(zhǔn)確性和重復(fù)性的關(guān)鍵部分就是射頻發(fā)射機的校準(zhǔn)、操作規(guī)程和日常監(jiān)測。

10KW半導(dǎo)體制程Dummy Load提供超穩(wěn)定，低VSWR 的，針對發(fā)射機輸出功率配合BIRD 精密功率傳感器進行快速精確測量的負(fù)載。當(dāng)運作在額定區(qū)域時，Dummy Load 負(fù)載VSWR 的總變化范圍能夠保持在0.1dB以內(nèi)。

負(fù)載針對不同時間長度校準(zhǔn)，重復(fù)性優(yōu)良且無需預(yù)熱。這樣能夠極大減小該項校準(zhǔn)的誤差，控制一個更關(guān)鍵的過程變量穩(wěn)定。

 

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